New integrated Monte Carlo code for the simulation of high-resolution scanning electron microscopy images for metrology in microlithography

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标题	New integrated Monte Carlo code for the simulation of high-resolution scanning electron microscopy images for metrology in microlithography
网址	https://doi.org/10.1117/12.2048306
DOI	10.1117/12.2048306 doi
其它	期刊：Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXVIII 作者：Jason P. Cain; Martha I. Sanchez; Emre Ilgüsatiroglu; Alexey Yu. Illarionov; Mauro Ciappa; et al 出版日期：2014
求助人	都可rainbow 在 2026-06-17 16:00:17 发布自广东，悬赏 20 积分
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