Improvement of titanium film uniformity by magnetron sputtering with electromagnetic coil design

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标题	Improvement of titanium film uniformity by magnetron sputtering with electromagnetic coil design 用电磁线圈设计提高磁控溅射钛膜均匀性相关领域材料科学溅射沉积钛腔磁控管电磁线圈溅射高功率脉冲磁控溅射复合材料光电子学光学薄膜冶金电气工程纳米技术工程类物理
网址	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2024.131365
DOI	10.1016/j.surfcoat.2024.131365 doi
其它	期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Qiaoru An; Taoran Jiang; Haisheng Fang 出版日期：2024-09-01
求助人	zhx 在 2025-07-10 14:06:43 发布，悬赏 10 积分
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