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 Channeled Implantations of p-Type Dopants into 4H-SiC at Different Temperatures 不同温度下p型掺杂剂沟道注入4H-SiC
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材料科学
离子
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期刊：Materials science forum 作者：Margareta K. Linnarsson; Anders Hallén; Lasse Vines; B. G. Svensson 出版日期：2019-07-19 |
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