Atomic Layer Etching of Silicon by Thermal Desorption Method

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标题	Atomic Layer Etching of Silicon by Thermal Desorption Method
网址	https://doi.org/10.1143/JJAP.34.5049
DOI	10.1143/JJAP.34.5049 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Shigeru Imai Shigeru Imai; Takeo Haga Takeo Haga; Osamu Matsuzaki Osamu Matsuzaki; Takeo Hattori Takeo Hattori; Masakiyo Matsumura Masakiyo Matsumura 出版日期：1995
求助人	ADChem_JH 在 2026-03-15 17:04:07 发布自美国，悬赏 10 积分
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