发布文献求助
待确认
  • 文献求助详情
标题
Patterning of wave guides in LiNbO3 using ion beam etching and reactive ion beam etching
相关领域
光刻胶 蚀刻（微加工） 雕刻 反应离子刻蚀 基质（水族馆） 材料科学 离子束 光电子学 深反应离子刻蚀 光学 准直光 梁（结构） 纳米技术 地质学 复合材料 图层（电子） 激光器 物理 海洋学
网址
https://doi.org/10.1116/1.1472425
AI链接 aip.orgdoi.org
DOI
10.1116/1.1472425 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：Danielle Hines; K. Williams
出版日期：2002-05-01
求助人
研友_LJemK8 在 2026-01-05 19:51:35 发布自山东，悬赏 10 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Reduced Etch Lag and High Aspect Ratios by Deep Reactive Ion Etching (DRIE)
  2. Study of deep silicon etching for micro-gyroscope fabrication
  3. High frequency reactive ion etching of silylated photoresist
  4. CHF3-reactive ion etching for waveguides
  5. Photoresist Damage in Reactive Ion Etching Processes
  6. Deep Reactive Ion Etching
  7. High Aspect-Ratio Nanoscale Etching in Silicon using Electron Beam Lithography and Deep Reactive Ion...
  8. Optimization of Etching Profile in Deep-Reactive-Ion Etching for MEMS Processes of Sensors
  9. Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Device in the MEMS Fabrications
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 1天前

    科研通AI6 科研通AI6 机器人Lv12 上传了文件

    待审核 1.1472425.pdf (680.66 KB)
    温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请 提交工单 反馈。

  • 1天前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    19:51:38 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    19:51:35 科研通AI机器人（美国 洛杉矶）收到请求，开始寻找文献
    19:51:35 已向机器人发送请求

  • 1天前

    研友_LJemK8 研友_LJemK8 Lv7 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
Anson完成签到，获得积分10
刚刚
风清扬的应助被hsa_ID采纳，获得30
1秒前
辛勤秋双完成签到，获得积分10
1秒前
可爱的函函的应助被泡泡虾采纳，获得10
1秒前
酷波er的应助被FFF采纳，获得10
2秒前
123完成签到，获得积分10
2秒前
liyiliyi117完成签到，获得积分10
2秒前
龚昊完成签到，获得积分10
2秒前
2秒前
相信未来发布了新的文献求助10
2秒前
Akim的应助被nssm采纳，获得10
3秒前
FashionBoy的应助被huanhuan采纳，获得10
3秒前
jianchunli完成签到，获得积分10
3秒前
温柔的语柔完成签到，获得积分10
3秒前
3秒前
头发多多完成签到，获得积分10
3秒前
勋章发布了新的文献求助10
4秒前
是小孙啊完成签到，获得积分10
4秒前
5秒前
5秒前
5秒前
5秒前
哟呵发布了新的文献求助10
5秒前
小桑桑完成签到，获得积分10
5秒前
酷酷妙梦完成签到，获得积分10
6秒前
传奇3的应助被沉溺采纳，获得10
6秒前
LIGHT完成签到，获得积分10
6秒前
6秒前
lyh发布了新的文献求助10
6秒前
Ximao1008发布了新的文献求助10
6秒前
7秒前
7秒前
7秒前
李雅琳完成签到 ，获得积分10
8秒前
8秒前
8秒前
8秒前
8秒前
9秒前
onecat完成签到，获得积分10
9秒前
高分求助中
Encyclopedia of Immunobiology Second Edition 5000
Clinical Microbiology Procedures Handbook, Multi-Volume, 5th Edition 临床微生物学程序手册，多卷，第5版 2000
List of 1,091 Public Pension Profiles by Region 1621
Les Mantodea de Guyane: Insecta, Polyneoptera [The Mantids of French Guiana] | NHBS Field Guides & Natural History 1500
The Victim–Offender Overlap During the Global Pandemic: A Comparative Study Across Western and Non-Western Countries 1000
Lloyd's Register of Shipping's Approach to the Control of Incidents of Brittle Fracture in Ship Structures 1000
Brittle fracture in welded ships 1000
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 生物 医学 工程类 计算机科学 有机化学 物理 生物化学 纳米技术 复合材料 内科学 化学工程 人工智能 催化作用 遗传学 数学 基因 量子力学 物理化学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 5585741
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4669361
关于积分的说明 14776911
捐赠科研通 4618356
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2530650
邀请新用户注册赠送积分活动 1499380
关于科研通互助平台的介绍 1467750
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通