Multiphysics Modeling and Analysis of Sc-Doped AlN Thin Film Based Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer by Finite Element Method

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标题	Multiphysics Modeling and Analysis of Sc-Doped AlN Thin Film Based Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer by Finite Element Method Sc掺杂AlN薄膜压电微机械超声换能器的有限元多物理建模与分析相关领域材料科学 PMUT公司多物理压电超声波传感器灵敏度（控制系统）兴奋剂有限元法薄膜声学机电耦合系数光电子学电子工程复合材料纳米技术结构工程物理工程类
网址	https://www.mdpi.com/2072-666X/14/10/1942/pdf?version=169761...
DOI	10.3390/mi14101942 doi
其它	期刊：Micromachines 作者：Xiaonan Liu; Qiaozhen Zhang; Mingzhu Chen; Yaqi Liu; Jianqiu Zhu; et al 出版日期：2023-10-18
求助人	哐哐哐在 2025-12-04 11:08:57 发布自安徽，悬赏 10 积分
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