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标题
A Miniaturized Piezoelectric MEMS Accelerometer with Polygon Topological Cantilever Structure
多边形拓扑悬臂结构的小型化压电MEMS加速度计
相关领域
压电加速度计 加速度计 悬臂梁 微电子机械系统 材料科学 压电 固有频率 灵敏度（控制系统） 电压 信号（编程语言） 声学 有限元法 拓扑（电路） 光电子学 电子工程 PMUT公司 电气工程 工程类 结构工程 物理 复合材料 计算机科学 振动 量子力学 程序设计语言
网址
https://www.mdpi.com/2072-666X/13/10/1608/pdf?version=166435...
AI链接 mdpi.com mdpi.com nih.gov doaj.org nih.govdoi.org
DOI
10.3390/mi13101608 doi
其它 期刊：Micromachines
作者：Chaoxiang Yang; Bohao Hu; Liangyu Lu; Zekai Wang; Wenjuan Liu; et al
出版日期：2022-09-27
求助人
福旺云吞 在 2025-12-05 18:19:03 发布自贵州，悬赏 10 积分
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