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 A quick diagnostic method for corrosion-inhibition balance and a green slurry for copper chemical mechanical polishing 铜化学机械抛光用缓蚀平衡快速诊断方法及生坯浆料
相关领域
材料科学
泥浆
铜
抛光
冶金
腐蚀
化学机械平面化
复合材料
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| 其它 |
期刊：Materials Today Communications 作者：Jiale Zhang; Ning Wang; Jianhang Yin; Pengli Zhu; Tao Zhao 出版日期：2024-06-05 |
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