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标题
A quick diagnostic method for corrosion-inhibition balance and a green slurry for copper chemical mechanical polishing
铜化学机械抛光用缓蚀平衡快速诊断方法及生坯浆料
相关领域
材料科学 泥浆 铜 抛光 冶金 腐蚀 化学机械平面化 复合材料
网址
https://doi.org/10.1016/j.mtcomm.2024.109447
DOI
10.1016/j.mtcomm.2024.109447 doi
其它 期刊：Materials Today Communications
作者：Jiale Zhang; Ning Wang; Jianhang Yin; Pengli Zhu; Tao Zhao
出版日期：2024-06-05
求助人
浪漫反派 在 2025-12-12 05:47:55 发布自上海，悬赏 10 积分
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