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 Crosstalk decoupling measurement method to determine the six degrees of freedom of motion error of linear stages 相关领域
光学
解耦（概率）
串扰
自由度（物理和化学）
物理
量子力学
工程类
控制工程
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| DOI |
10.1364/ao.448912
doi
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| 其它 |
期刊：Applied Optics 作者：Kuan Diao; Cheng Chen; R. Leach; Xiaojun Liu; Wenlong Lu; et al 出版日期：2022-01-14 |
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