Systematic investigation of tin-based metal-organic cluster resists for high-resolution next generation lithography

已完结

文献求助详情

标题	Systematic investigation of tin-based metal-organic cluster resists for high-resolution next generation lithography
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.3091826
DOI	10.1117/12.3091826 doi
其它	期刊：Advances in Patterning Materials and Processes XLIII 作者：Sachin .; Manvendra Chauhan; Neha .; Meghana Sharma; Kumar Palit; et al 出版日期：2026-04-09
求助人	樊珩在 2026-08-10 01:12:44 发布自上海，悬赏 20 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

在科研通，轻松享有文献下载的自由

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 11112321321完成签到，获得积分10

2秒前; adydcm发布了新的文献求助10

3秒前; isedu完成签到，获得积分0

5秒前; 香蕉觅云的应助被科研通管家采纳，获得10

8秒前; cdercder的应助被科研通管家采纳，获得10

8秒前; 香蕉觅云的应助被科研通管家采纳，获得10

8秒前; 科研大拿完成签到，获得积分10

14秒前; hezi完成签到，获得积分10

22秒前; 领导范儿上传了应助文件

25秒前; 牡蛎牡蛎粥完成签到，获得积分10

30秒前; 一亩蔬菜发布了新的文献求助10

30秒前; weitao0916完成签到，获得积分10

31秒前; 点点完成签到，获得积分10

35秒前; 三杠完成签到，获得积分10

47秒前; 香锅不要辣完成签到，获得积分10

52秒前; Orange上传了应助文件

1分钟前; Myownway完成签到，获得积分10

1分钟前; 呆呆完成签到，获得积分10

1分钟前; 艳艳宝完成签到，获得积分10

1分钟前; Arya发布了新的文献求助10

1分钟前; 萌萌完成签到，获得积分10

1分钟前; 科研通AI6.3上传了应助文件

1分钟前; 宇老师完成签到，获得积分10

1分钟前; 小石榴的爸爸完成签到，获得积分10

1分钟前; 一亩蔬菜发布了新的文献求助10

1分钟前; Arya完成签到，获得积分10

1分钟前; yangy801017完成签到，获得积分10

1分钟前; HCT完成签到，获得积分10

1分钟前; 丘比特的应助被adydcm采纳，获得10

1分钟前; 肉fufu的小妞完成签到，获得积分10

1分钟前; lzm完成签到，获得积分10

1分钟前; aimynora完成签到，获得积分10

1分钟前; 研友_nqv5WZ完成签到，获得积分10

1分钟前; lucky完成签到，获得积分10

1分钟前; 糖雪完成签到，获得积分10

1分钟前; CJW完成签到，获得积分10

2分钟前; JLC完成签到，获得积分10

2分钟前; 呆萌芙蓉完成签到，获得积分10

2分钟前; Owen的应助被陆玖笙采纳，获得10

2分钟前; cdercder的应助被科研通管家采纳，获得10

2分钟前