Study of chucking force distribution according to substrate pattern and deformation characteristics of electrostatic chuck for deposition - 科研通

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标题	Study of chucking force distribution according to substrate pattern and deformation characteristics of electrostatic chuck for deposition
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.elstat.2024.104008
DOI	10.1016/j.elstat.2024.104008 doi
其它	期刊：Journal of Electrostatics 作者：Seong Bin Kim; Ju Hye Kim; Dong Kyun Min 出版日期：2025-01-01
求助人	ale 在 2026-07-31 10:34:48 发布自浙江，悬赏 10 积分
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