Vibrational spectroscopy of low-k/ultra-low-k dielectric materials on patterned wafers - 科研通

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标题	Vibrational spectroscopy of low-k/ultra-low-k dielectric materials on patterned wafers 图案化晶片上低k/超低k介电材料的振动光谱相关领域拉曼光谱薄脆饼电介质材料科学傅里叶变换红外光谱光谱学低介电常数分析化学（期刊）傅里叶变换光谱学光电子学光学化学有机化学量子力学物理
网址	https://doi.org/10.1116/1.3625099
DOI	10.1116/1.3625099 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology. A. Vacuum, surfaces, and films 作者：Jeffrey Lam; Maggie Yamin Huang; Hao Tan; Zhi Qiang Mo; Zhihong Mai; et al 出版日期：2011-08-17
求助人	啊哈哈哈在 2024-04-24 15:24:55 发布自安徽，悬赏 10 积分
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