| 标题 |
Half-pitch 14nm direct patterning with nanoimprint lithography |
| 网址 | |
| DOI |
10.1117/12.2514685
doi
|
| 其它 |
期刊: 作者:Takuya Kono; Masayuki Hatano; Hiroshi Tokue; Hirokazu Katō; Kazuya Fukuhara; et al 出版日期:2019-03-26 |
| 求助人 | |
| 下载 | 暂无链接,等待应助者上传 |
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)