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标题
Development of high uniformity Al1-xScxN piezoelectric film stack dry etching process on 8-inch silicon wafers
网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0042207X2...
DOI
10.1016/j.vacuum.2023.111907 doi
其它 期刊：Vacuum
作者：Jiahui Yan; Yong-Xin Zhou; Songsong Zhang
出版日期：2023-02-01
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Candice 在 2026-10-10 10:40:35 发布自北京，悬赏 10 积分
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  • 12小时前

    Candice Candice Lv1 求助人 发起了本次求助

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