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 Surface Cleaning of AlGaAs Substrates by Hydrogen Electron Cyclotron Resonance (ECR) Plasma 氢电子回旋共振（ECR）等离子体对AlGaAs衬底的表面清洗
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Naoto Kondo; Yasushi Nanishi; Masatomo Fujimoto 出版日期：1992-07-01 |
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