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 Application of measurement configuration optimization for accurate metrology of sub-wavelength dimensions in multilayer gratings using optical scatterometry 测量配置优化在多层光栅亚波长精确测量中的应用
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期刊：Applied optics 作者：Jinlong Zhu; Yian Shi; Lynford L. Goddard; Shiyuan Liu 出版日期：2016-08-23 |
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