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标题
Electron-Beam Crystallization of Thin Films of Amorphous Silicon Suboxide
低氧化非晶硅薄膜的电子束晶化
相关领域
亚氧化物 材料科学 硅 多晶硅 非晶硅 纳米晶硅 无定形固体 退火（玻璃） 辐照 电子束处理 阴极射线 电子束物理气相沉积 薄膜 电子 光电子学 复合材料 晶体硅 结晶学 纳米技术 化学 薄膜晶体管 核物理学 物理 量子力学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1134/s1063785021030172
DOI
10.1134/s1063785021030172 doi
其它 期刊：Technical Physics Letters
作者：Е. А. Баранов; В. О. Константинов; В. Г. Щукин; A. O. Zamchiy; I. E. Merkulova; et al
出版日期：2021-03-01
求助人
ldy 在 2025-08-30 19:23:38 发布，悬赏 10 积分
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