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 Electron-Beam Crystallization of Thin Films of Amorphous Silicon Suboxide 低氧化非晶硅薄膜的电子束晶化
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期刊：Technical Physics Letters 作者：Е. А. Баранов; В. О. Константинов; В. Г. Щукин; A. O. Zamchiy; I. E. Merkulova; et al 出版日期：2021-03-01 |
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