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 Si nanocone structure fabricated by a relatively high-pressure hydrogen plasma in the range of 3.3–27 kPa 用3.3~27 kPa的相对高压氢等离子体制备硅纳米锥结构
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Toshimitsu Nomura; Kenta Kimoto; Hiroaki Kakiuchi; Kiyoshi Yasutake; Hiromasa Ohmi 出版日期：2022-04-22 |
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