发布文献求助
待确认
  • 文献求助详情
标题
Cavitation-driven nanosecond laser irradiation assisted chemical–mechanical-polishing (CMP) for atomic-scale material removal of 4H-SiC
相关领域
化学机械平面化 抛光 材料科学 纳秒 辐照 空化 激光器 原子单位 复合材料 光学 机械 物理 量子力学 核物理学
网址
求助人暂未提供
DOI
暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
AI识别 10.1016/j.optlastec.2025.113328 doi
求助人
如意秋柳 在 2025-11-21 21:25:42 发布自福建，悬赏 10 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Chemical and Mechanical Properties of Cu Surface Reaction Layers in Cu-CMP to Improve Planarization
  2. Macromodel for changes in polishing pad surface condition caused by dressing and polishing
  3. Impact of PAD Micro Contact Size and Distribution on the Planarization in CMP
  4. 0.35μm CMOS Technology with Chemical Mechanical Polishing for Three Metallization Levels Planarizat...
  5. <title>Planarization using chemical mechanical planarization (CMP) on a 16-megabit SRAM with quadrup...
  6. Advanced chemical mechanical planarization (CMP) process for copper interconnects
  7. Post-chemical-mechanical planarization cleaning application in metallization
  8. Study of the Chemical-Mechanical Global Planarization of Low-k Dielectric in ULSI
  9. Study the chemical mechanical polishing on sapphire substrate
  10. Chemical Mechanical Polishing (CMP) 공정을 이용한 Mutilevel Metal 구조의 광역 평탄화에 관한 연구
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 36分钟前

    ding ding Lv12 上传了文件

    待审核 1-s2.0-S0030399225009193-main.pdf (9 MB)
    温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请 提交工单 反馈。

  • 36分钟前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    21:25:48 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    21:25:45 科研通AI机器人（中国 香港）收到请求，开始寻找文献
    21:25:43 已向机器人发送请求

  • 36分钟前

    如意秋柳 如意秋柳 Lv11 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
顾矜的应助被5448489489采纳，获得10
刚刚
CodeCraft的应助被积极的睫毛采纳，获得30
2秒前
汉堡包的应助被守护采纳，获得10
2秒前
3秒前
执着的蜗牛的应助被安之采纳，获得30
4秒前
xzy998发布了新的文献求助30
5秒前
李想发布了新的文献求助10
5秒前
小肆完成签到 ，获得积分10
5秒前
gao完成签到，获得积分20
6秒前
8秒前
和谐语海完成签到，获得积分10
8秒前
11秒前
JamesPei的应助被雾凇采纳，获得10
12秒前
gao发布了新的文献求助10
12秒前
袁露发布了新的文献求助30
12秒前
初空月儿发布了新的文献求助10
14秒前
科研通AI6的应助被平安采纳，获得40
14秒前
14秒前
14秒前
852的应助被科研通管家采纳，获得10
14秒前
科研通AI6的应助被科研通管家采纳，获得10
15秒前
汉堡包的应助被科研通管家采纳，获得10
15秒前
思源的应助被科研通管家采纳，获得10
15秒前
Ava的应助被科研通管家采纳，获得10
15秒前
深情安青的应助被科研通管家采纳，获得10
15秒前
木之子兮发布了新的文献求助10
15秒前
hbhbj的应助被科研通管家采纳，获得10
15秒前
ding的应助被科研通管家采纳，获得10
15秒前
所所的应助被科研通管家采纳，获得10
15秒前
15秒前
15秒前
idiom完成签到 ，获得积分10
15秒前
orixero的应助被科研通管家采纳，获得10
15秒前
星辰大海的应助被兴奋以蓝采纳，获得10
15秒前
ZJX的应助被科研通管家采纳，获得10
15秒前
浮游的应助被科研通管家采纳，获得10
16秒前
科研通AI6的应助被科研通管家采纳，获得10
16秒前
16秒前
科研通AI6的应助被科研通管家采纳，获得30
16秒前
科研通AI6的应助被科研通管家采纳，获得10
16秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Fermented Coffee Market 2000
微纳米加工技术及其应用 500
Constitutional and Administrative Law 500
PARLOC2001: The update of loss containment data for offshore pipelines 500
Critical Thinking: Tools for Taking Charge of Your Learning and Your Life 4th Edition 500
Vertebrate Palaeontology, 5th Edition 420
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 纳米技术 计算机科学 内科学 化学工程 复合材料 物理化学 基因 遗传学 催化作用 冶金 量子力学 光电子学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 5289842
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4441315
关于积分的说明 13827119
捐赠科研通 4323763
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2373344
邀请新用户注册赠送积分活动 1368758
关于科研通互助平台的介绍 1332673
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通