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  Control of edge bulge evolution during photoresist reflow and its application to diamond microlens fabrication 光致抗蚀剂回流过程中边缘凸起演化的控制及其在金刚石微透镜制备中的应用
相关领域
微透镜
钻石
材料科学
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期刊：Journal of vacuum science and technology 作者：Buxing Han; Johannes Herrnsdorf; Erdan Gu; Martin D. Dawson 出版日期：2016-03-01 |
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