Ga2O3(Gd2O3) as a dielectric insulator for GaAs device applications

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标题	Ga2O3(Gd2O3) as a dielectric insulator for GaAs device applications Ga2O3（Gd2O3）作为GaAs器件应用的介电绝缘体相关领域材料科学电介质光电子学栅极电介质分子束外延砷化镓薄膜场效应晶体管透射电子显微镜泄漏（经济）分析化学（期刊）晶体管外延图层（电子）纳米技术电气工程电压化学经济宏观经济学工程类色谱法
网址	https://doi.org/10.1117/12.310993
DOI	10.1117/12.310993 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：T. S. Lay; M. Hong; J. P. Mannáerts; C. T. Liu; J. Raynien Kwo; et al 出版日期：1998-06-22
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