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标题
Dry etching of epitaxial InGaAs/InAlAs/InAlGaAs structures for fabrication of photonic integrated circuits
用于制造光学集成电路的磊晶LGA/InAlAs/InLGA结构的干蚀刻
相关领域
材料科学 蚀刻（微加工） 干法蚀刻 反应离子刻蚀 光电子学 外延 制作 感应耦合等离子体 激光器 光子学 分子束外延 砷化镓 光子集成电路 集成电路 堆栈（抽象数据类型） 等离子体 纳米技术 光学 图层（电子） 计算机科学 医学 替代医学 病理 物理 量子力学 程序设计语言
网址
https://opg.optica.org/ome/fulltext.cfm?uri=ome-14-2-328&id=...
AI链接 doi.org osti.govdoi.org
DOI
10.1364/OME.506739 doi
求助人
小小 在 2025-07-21 13:33:49 发布自美国，悬赏 20 积分
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