AI-ML approach to uncover “hidden factory” of energy saving opportunity in semiconductor facility systems

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标题	AI-ML approach to uncover “hidden factory” of energy saving opportunity in semiconductor facility systems
网址	https://www.spiedigitallibrary.org/journals/journal-of-micro...
DOI	10.1117/1.jmm.25.3.031408 doi
其它	期刊：Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology 作者：Hong Zhao; Laurent Chan; Jun Rong Goh; Mark Liao; Rangarajun Erode Jagadesan; et al 出版日期：2026-07-14
求助人	LIU 在 2026-07-30 18:47:31 发布自上海，悬赏 20 积分
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