Recent developments in MEMS sensors: a review of applications, markets and technologies

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标题	Recent developments in MEMS sensors: a review of applications, markets and technologies
网址	http://dx.doi.org/10.1108/SR-05-2013-678
DOI	10.1108/SR-05-2013-678 doi
求助人	jungkookie 在 2026-09-16 15:41:57 发布自美国，悬赏 10 积分
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