Evaluation of ultra-low specific contact resistance extraction by cross-bridge Kelvin resistor structure and transmission line method structure

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标题	Evaluation of ultra-low specific contact resistance extraction by cross-bridge Kelvin resistor structure and transmission line method structure
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/6831033/6841455/06841468...
DOI	10.1109/icmts.2014.6841468 doi
其它	期刊：2014 International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS) 作者：Bing-Yue Tsui; Hsuan-Tzu Tseng 出版日期：2014-07-29
求助人	偷吃月亮在 2026-07-23 15:57:55 发布自上海，悬赏 10 积分
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