Organic BARC process evaluation for via first dual-damascene patterning

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标题	Organic BARC process evaluation for via first dual-damascene patterning
网址	https://www.spiedigitallibrary.org/redirect/proceedings/proc...
DOI	10.1117/12.436913 doi
其它	期刊：SPIE Advanced Lithography 作者：Cher-Huan Tan; M. Mukherjee-Roy; Woo-Min Jo; Rakesh Kumar; P. Foo; et al 出版日期：2001-08-24
求助人	啊哈哈哈在 2026-08-24 15:13:35 发布自安徽，悬赏 20 积分
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