Measurements of Young's modulus, Poisson's ratio, and tensile strength of polysilicon - 科研通

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标题	Measurements of Young's modulus, Poisson's ratio, and tensile strength of polysilicon
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx3/4441/12601/00581881.pdf?...
DOI	10.1109/memsys.1997.581881 doi
其它	期刊：Proceedings IEEE The Tenth Annual International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems. An Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines and Robots 作者：W.N. Sharpe; Bin Yuan; R. Vaidyanathan; R.L. Edwards 出版日期：2002-11-22
求助人	Alex 在 2026-05-07 17:13:47 发布自浙江，悬赏 10 积分
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