| 标题 |
 High-power LPP-EUV source with long collector mirror lifetime for high volume semiconductor manufacturing 相关领域
极紫外光刻
材料科学
占空比
激光器
光学
光电子学
功率（物理）
极端紫外线
电气工程
物理
工程类
量子力学
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| DOI |
10.1117/12.2299300
doi
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| 其它 |
期刊： 作者：Hakaru Mizoguchi; Taku Yamazaki; Takashi Saitou; Hiroaki Nakarai; Tamatsu Abe; et al 出版日期：2018-03-19 |
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