Fast Global Sparse Principal Component Analysis for Sensor Reduction in Virtual Metrology

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标题	Fast Global Sparse Principal Component Analysis for Sensor Reduction in Virtual Metrology
网址	https://doi.org/10.1109/TSM.2026.3658988
DOI	10.1109/TSM.2026.3658988 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 作者：Yifan Xie; Tianhui Wang; Myong K. Jeong 出版日期：2026
求助人	ymr 在 2026-06-21 11:30:50 发布自上海，悬赏 30 积分
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Society for Industrial and Applied Mathematics (SIAM)

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