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标题
Manufacturing Silicon-Nanowire Based Piezoresistive Force Sensors with Top-Down Stepwise Controllable Etching Process
网址
https://doi.org/10.1109/mems64181.2026.11419243
DOI
10.1109/mems64181.2026.11419243 doi
其它 期刊：
作者：Geer Teng; Junbo Guo; Ziming Yang; Xin Li; Xiaoying Li; et al
出版日期：2026-01-25
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Arrebol 在 2026-09-16 16:48:08 发布自陕西，悬赏 10 积分
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