Study of uniformity of atmospheric pressure plasma microjet array for maskless parallel micropatterned etching

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标题	Study of uniformity of atmospheric pressure plasma microjet array for maskless parallel micropatterned etching
网址	https://doi.org/10.1002/ppap.202100167
DOI	10.1002/ppap.202100167 doi
其它	期刊：Plasma Processes and Polymers 作者：Junfeng Yang; Lingju Xia; Shuneng Zhou; Lirui Liao; Zekun Wang; et al 出版日期：2022
求助人	天圆地方在 2026-03-04 17:44:18 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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