Fabrication of diamond diaphragms by femtosecond laser etching for pressure sensing

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标题	Fabrication of diamond diaphragms by femtosecond laser etching for pressure sensing
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S136980012...
DOI	10.1016/j.mssp.2026.110709 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Shunyong Jiang; Dongyang Hou; Xiuming Liu; Jinlian Chen; Ting Lv; et al 出版日期：2026-04-22
求助人	kiou 在 2026-06-10 20:20:48 发布自北京，悬赏 10 积分
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