Performance and Reliability Simulation Analysis of MEMS Piezoelectric Cantilever Beams

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标题	Performance and Reliability Simulation Analysis of MEMS Piezoelectric Cantilever Beams 相关领域悬臂梁压电可靠性（半导体）有限元法微电子机械系统灵敏度（控制系统）压力（语言学）压电加速度计结构工程材料科学工程类声学压电传感器工作（物理）关系（数据库）压电系数 PMUT公司机械工程电子工程频率响应开发（拓扑）
网址	https://doi.org/10.1109/icrms63553.2024.00056
DOI	10.1109/icrms63553.2024.00056 doi
其它	期刊：作者：Yuanyuan Liu; Taichun Qin 出版日期：2024-07-31
求助人	仁爱的沛山在 2026-06-11 09:29:15 发布自黑龙江，悬赏 10 积分
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