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[求助补充材料]
 Low-damage gas cluster ion beam polishing of the C-face of 4H-SiC 相关领域
材料科学
星团（航天器）
梁（结构）
抛光
离子束
离子
聚焦离子束
原子物理学
光学
领域（数学）
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(2025-6-4)
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