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A new method for high resolution curvature measurement applied to stress monitoring in thin films
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DOI
10.1088/1361-6528/ac4a2a doi
其它 期刊:Nanotechnology
作者:Sergey Grachev; Quentin Hérault; Jun Wang; Matteo Balestrieri; Hervé Montigaud; et al
出版日期:2022-01-11
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