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 Mechanisms of acid generation from ionic photoacid generators for extreme ultraviolet and electron beam lithography 极紫外光和电子束光刻用离子光产酸剂的产酸机理
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期刊：Physical Chemistry Chemical Physics 作者：Chengbin Fu; Kun Du; Jie Xue; Hanshen Xin; Jianhua Zhang; et al 出版日期：2024-01-01 |
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