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Numerical study on gas reaction path of InN-MOVPE with three typical reactors 三种典型反应器对InN-MOVPE气体反应路径的数值研究
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金属有机气相外延
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期刊:Journal of Crystal Growth 作者:Guangyu Zheng; Yukang Sun; Hong Zhang; Peng Su; Ran Zuo; et al 出版日期:2024-06-17 |
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