Tribological behavior of TiN films depositid by reactive magnetron sputtering under low pressure

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标题	Tribological behavior of TiN films depositid by reactive magnetron sputtering under low pressure 相关领域摩擦学材料科学锡氮化钛溅射沉积溅射腔磁控管沉积（地质）冶金摩擦系数氮化物体积热力学复合材料钛薄膜图层（电子）纳米技术沉积物古生物学物理生物量子力学
网址	https://doi.org/10.3103/s1068366616030065
DOI	10.3103/s1068366616030065 doi
其它	期刊：Journal of Friction and Wear 作者：M. V. Ermolenko; S. M. Zavadski; Д. А. Голосов; S. N. Melnikov; Evgeny Zamburg 出版日期：2016-05-01
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