发布文献求助
亲爱的研友该休息了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！身体可是革命的本钱，早点休息，好梦！
待确认
  • 文献求助详情
标题
Fabrication of Large-Area Silicon Spherical Microlens Arrays by Thermal Reflow and ICP Etching
热回流和ICP刻蚀制备大面积硅球微透镜阵列
相关领域
微透镜 材料科学 蚀刻（微加工） 硅 光刻胶 表面粗糙度 干法蚀刻 基质（水族馆） 反应离子刻蚀 光电子学 表面张力 复合材料 光学 图层（电子） 镜头（地质） 物理 海洋学 量子力学 地质学
网址
https://www.mdpi.com/2072-666X/15/4/460/pdf?version=17116908...
AI链接 mdpi.com mdpi.com nih.gov nih.govdoi.org
DOI
10.3390/mi15040460 doi
其它 期刊：Micromachines
作者：Yu Wu; Xianshan Dong; Xuefang Wang; Junfeng Xiao; Quanquan Sun; et al
出版日期：2024-03-29
求助人
ldy 在 2025-08-28 20:45:19 发布，悬赏 10 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Study of mechanisms involved in photoresist microlens formation
  2. Dry etched high resolution positive and negative inorganic photoresist
  3. Photoresist Damage in Reactive Ion Etching Processes
  4. CHF3-reactive ion etching for waveguides
  5. <title>Fabrication and optical characteristics of microlens arrays engraved in photoresist coatings<...
  6. Microlens formation using heavily dyed photoresist in a single step
  7. Improving the Fill Factor and F Number of Refractive Microlens Array by Reducing Developing Time
  8. Hexagonal microlens array fabricated by proximity printing via UV lithography
  9. An Experimental Investigation on the Fabrication of Microlens Array Using Meniscus of Photoresist
  10. Patterned thick photoresist layers for protection of protruding structures during wet and dry etchin...
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 7小时前

    科研通AI2S 科研通AI2S 机器人Lv12 上传了文件

    待审核 micromachines-15-00460.pdf (3.23 MB)
    温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请 提交工单 反馈。

  • 7小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    20:45:21 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    20:45:19 科研通AI机器人（澳大利亚 悉尼）收到请求，开始寻找文献
    20:45:19 已向机器人发送请求

  • 7小时前

    ldy ldy Lv5 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
7秒前
7秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
55秒前
肖潇完成签到，获得积分10
1分钟前
1分钟前
华仔的应助被科研通管家采纳，获得10
1分钟前
科研通AI5的应助被科研通管家采纳，获得10
1分钟前
MMMMM的应助被科研通管家采纳，获得30
1分钟前
1分钟前
1分钟前
1分钟前
1分钟前
研友_VZG7GZ的应助被开心的大米采纳，获得30
1分钟前
1分钟前
激情的健柏完成签到 ，获得积分10
1分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
2分钟前
认真自行车完成签到，获得积分10
2分钟前
2分钟前
2分钟前
zjx完成签到，获得积分10
2分钟前
悦耳茗完成签到，获得积分10
2分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
3分钟前
3分钟前
科研通AI5的应助被科研通管家采纳，获得10
3分钟前
好心完成签到，获得积分10
3分钟前
桥西小河完成签到 ，获得积分10
4分钟前
火星上宛秋完成签到 ，获得积分10
4分钟前
肖潇关注了科研通微信公众号
4分钟前
小zz完成签到 ，获得积分10
4分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
4分钟前
4分钟前
4分钟前
肖潇发布了新的文献求助10
5分钟前
null的应助被科研通管家采纳，获得10
5分钟前
科研通AI2S的应助被科研通管家采纳，获得10
5分钟前
MMMMM的应助被科研通管家采纳，获得30
5分钟前
null的应助被科研通管家采纳，获得10
5分钟前
5分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
6分钟前
852的应助被拼搏啤酒采纳，获得10
6分钟前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各位详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Voyage au bout de la révolution: de Pékin à Sochaux 700
First Farmers: The Origins of Agricultural Societies, 2nd Edition 500
The Start of the Start: Entrepreneurial Opportunity Identification and Evaluation 400
Simulation of High-NA EUV Lithography 400
Metals, Minerals, and Society 400
International socialism & Australian labour : the Left in Australia, 1919-1939 400
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 4304260
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 3827372
关于积分的说明 11979532
捐赠科研通 3468336
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1902182
邀请新用户注册赠送积分活动 949780
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 851742
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通