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 Evaluation of the Si0.8Ge0.2-on-Si Epitaxial Quality by Inline Surface Light Scattering: A Case Study on the Impact of Interfacial Oxygen 通过在线表面光散射评估Si0.8Ge 0.2-on-Si外延质量：界面氧影响的案例研究
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期刊：ECS Transactions 作者：Kurt Wostyn; Karine Kenis; Dirk Rondas; Roger Loo; Andriy Yakovitch Hikavyy; et al 出版日期：2014-10-01 |
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