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 Study of ferroelectric characteristics of Hf0.5Zr0.5O2 thin films grown on sputtered or atomic-layer-deposited TiN bottom electrodes 相关领域
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期刊：Applied Physics Letters 作者：Beom Yong Kim; Baek Su Kim; Seung Dam Hyun; Ho Hyun Kim; Yong Bin Lee; et al 出版日期：2020-07-13 |
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