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Two-dimensional crystalline hard masks for high-aspect-ratio nanofabrication
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DOI
10.1038/s41563-026-02524-7 doi
其它 期刊:Nature Materials
作者:Pranavram Venkatram; Ziheng Chen; Krishnendu Mukhopadhyay; Bob Hengstebeck; Lei Ding; et al
出版日期:2026-03-10
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小米不无奈 在 2026-10-10 10:38:15 发布自山东,悬赏 10 积分
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