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Block Copolymer Lithography: Periodic Arrays of ~10 11 Holes in 1 Square Centimeter
网址
https://www.science.org/doi/pdf/10.1126/science.276.5317.140...
DOI
10.1126/science.276.5317.1401 doi
其它 期刊：Science
作者：Miri Park; Christopher Harrison; Paul M. Chaikin; Richard A. Register; Douglas H. Adamson
出版日期：2002-07-27
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sci 在 2026-10-26 14:27:34 发布自上海，悬赏 10 积分
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