| 标题 |
Sputtering of (001)AlN thin films: Control of polarity by a seed layer |
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊:Journal of vacuum science and technology 作者:Evgeny Milyutin; Scott Harada; Diego Martín; J.‐F. Carlin; N. Grandjean; et al 出版日期:2010-11-01 |
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成,仅限求助人或该文件上传人下载。 |
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)