| 标题 |
Nano metal-oxygen cluster EUV photoresists and their performance influencing factors |
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| DOI |
10.1360/ssc-2024-0008
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| 其它 |
期刊:SCIENTIA SINICA Chimica 作者:Youmei Xing; Tao Hu; Weihua Fang; Yunjian Yin; Lijiang Gao; et al 出版日期:2024-08-26 |
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(2025-6-4)