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标题
Elucidating the radiation chemistry of prototypical tin-oxo resist with first-principles computations
网址
http://dx.doi.org/10.1117/12.2588731
DOI
10.1117/12.2588731 doi
其它 期刊：Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography XII
作者：Jonathan H. Ma; Patrick P. Naulleau; David Prendergast; Andrew Neureuther
出版日期：2021-02-22
求助人
樊珩 在 2026-10-07 17:53:18 发布自上海，悬赏 20 积分
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