Demonstration of Conformal MoS2 on High-Aspect-Ratio Structures up to 40:1 and Exploration of Manufacturability in a 300mm Fab for 3D NAND applications - 科研通

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标题	Demonstration of Conformal MoS2 on High-Aspect-Ratio Structures up to 40:1 and Exploration of Manufacturability in a 300mm Fab for 3D NAND applications
网址	https://ieeexplore.ieee.org/document/11026929
DOI	10.1109/IMW61990.2025.11026929 doi
求助人	aaa 在 2026-10-15 17:04:28 发布自美国，悬赏 10 积分
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