| 标题 |
Mechanical and Chemical Mechanical Planarization of Single-Crystal Diamond (100) Substrate |
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| DOI |
10.20965/ijat.2025.p0906
doi
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| 其它 |
期刊:International Journal of Automation Technology 作者:Akihisa Kubota 出版日期:2025-09-05 |
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(2025-6-4)