| 标题 |
  Ultralow-loss polycrystalline silicon waveguides and high uniformity 1x12 MMI fanout for 3D photonic integration 相关领域
材料科学
波导管
多晶硅耗尽效应
硅
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硅光子学
光电子学
光学
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光子集成电路
电气工程
晶体管
纳米技术
物理
工程类
电压
薄膜晶体管
图层（电子）
栅氧化层
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| 网址 | |
| DOI |
10.1364/oe.20.021722
doi
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| 其它 |
期刊：Optics Express 作者：David Kwong; John Covey; Amir Hosseini; Yang Zhang; Xiaochuan Xu; et al 出版日期：2012-09-06 |
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