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Deposition of TiO2 thin films using RF magnetron sputtering method and study of their surface characteristics 射频磁控溅射沉积TiO2薄膜及其表面特性研究
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期刊:Thin Solid Films 作者:Cheol Ho Heo; Soon-Bo Lee; Jin‐Hyo Boo 出版日期:2004-10-28 |
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