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标题
Deposition of TiO2 thin films using RF magnetron sputtering method and study of their surface characteristics
射频磁控溅射沉积TiO2薄膜及其表面特性研究
相关领域
材料科学 薄膜 锐钛矿 溅射沉积 退火(玻璃) 微晶 表面粗糙度 腔磁控管 透射率 分析化学(期刊) 溅射 金红石 射频功率放大器 复合材料 矿物学 光电子学 冶金 纳米技术 化学工程 化学 光催化 工程类 生物化学 催化作用 CMOS芯片 放大器 色谱法
网址
DOI
10.1016/j.tsf.2004.08.033 doi
其它 期刊:Thin Solid Films
作者:Cheol Ho Heo; Soon-Bo Lee; Jin‐Hyo Boo
出版日期:2004-10-28
求助人
cxy 在 2025-12-01 18:25:29 发布自山东,悬赏 10 积分
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